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以無生命微粒為控製的對象。主要控製空氣塵埃微粒對工作對象的汙染,內部一般保持正壓狀態。它適用於精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。電子工廠潔淨廠房的設計、建造必須適應電子行業快速發展的需要。從潔淨廠房的規劃開始,對於電子工廠潔淨廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性,以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。同時考慮係統的節能運行。


GB50472-2013潔淨廠房設計規範

GB50472-2008-電子工業潔淨廠房設計規範

■ 服務領域:精密機械製造、汽車零部件生產、電訊設備製造、光學儀器儀表生產等。

■ 重點注意事項:

1、人流

1-1、人員糖心VLOG破解版入口:

1-2、潔淨室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;

1-3、單人空氣吹淋室,應按最大班人數30人設一台。潔淨室人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;

1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控製措施;

1-5、空氣潔淨度等級為5級或嚴於5級的垂直單向流潔淨室,宜設氣閘室。

2、物流

2-1、潔淨室內的設備和物料出入口,應獨立設置,並應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置糖心VLOG破解版入口用室及相應的物淨設施。

2-2、物料糖心VLOG破解版入口用室與潔淨室之間應設置氣閘室或傳遞窗。

3、靜壓差

3-1、不同等級的潔淨室之間的靜壓差應大於等於5Pa;

3-2、潔淨室與非潔淨室之間的靜壓差應大於5Pa;

3-3、潔淨室與室外的靜壓差應大於10Pa。

潔淨室空氣潔淨度等級表

空氣潔淨度等級(N)

大於或等於要求粒徑的最大濃度限值(pc/m³)

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1

10

2

--

--

--

--

2

100

24

10

4

--

--

3

1000

237

102

35

8

--

4

10000

2370

1020

352

83

--

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

--

--

--

352000

83200

29300

8

--

--

--

3520000

832000

29300

9

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--

35200000

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293000


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